CMPヘッドオーバーホールサービス
Head360™ プログラム
CMPヘッドオーバーホールサービス
CMPヘッドの再構築コストを削減。ダウンタイムを短縮。歩留まりを向上。
Entrepix Head360™ プログラムは、アプライド・マテリアルズの Mirra® および Reflexion® 研磨システム向けの、CMPヘッドの包括的な再構築およびライフサイクル管理ソリューションです。従来の再構築プログラムとは異なり、再構築されたすべてのヘッドは Entegrity™ ヘッドテスターによる 100% の機能テストを受け、ヘッドが生産現場に戻る前に、文書化された性能検証が行われます。
Titan、Profiler、Contour、EVO、Horizonの各ヘッドのオーバーホール、あるいはその他のCMPヘッド関連サービスが必要な場合でも、Head360は、総所有コストの削減、認定リスクの低減、そして長期的な信頼性の向上を実現します。
なぜHead360なのか？
ほとんどのリビルド業者は、シリンダーヘッドを再使用可能な状態に戻すことに重点を置いています。一方、Head360は、お客様の品質関連総コストの削減に重点を置いています。
ヘッドの再組み立てが不十分だと、以下のような隠れたコストが発生する可能性があります：
資格取得の失敗
予期せぬダウンタイム
プロセスの不安定性
ウェハーの欠陥と傷
収量減少
追加の設計時間
速達便
時期尚早なヘッド交換
CMPヘッドのオーバーホールの真のコストは、オーバーホールの請求額そのものではありません。それは、工具に取り付けた際に正常に機能しないオーバーホールにかかるコストなのです。
Head360の特長とは？
100% Entegrity™による検査済み再生品
再生されたヘッドはすべて、出荷前に業界標準の「Entegrity Head Tester」で検査されます。
Entegrityプラットフォームは、以下の項目を検証します：
ゾーン圧力応答
圧力および真空の密閉性
ゾーン間リーク
ウェーハ検出機能
室内楽の演奏
ヘッドごとの動作パラメータ
すべてのオーバーホールには完全な試験報告書が添付されており、プロセスエンジニアや保守チームに対して、客観的な性能データや過去のデータを提供します。
経験豊富なCMPスペシャリスト
当社のチームには、アプライド・マテリアルズの「Mirra」および「Reflexion」研磨プラットフォームの保守において数十年の経験を持つエンジニアや技術者が在籍しており、複数世代にわたるCMPヘッド技術全般にわたるサポートを提供しています。
データ駆動型の品質管理
ほとんどのシリンダーヘッド再製造業者は、点検と再製造を行っています。Head360は、再製造、試験、測定、記録、および検証を行っています。
Entegrityによって生成された性能データにより、Entrepixはヘッドが生産ラインに戻る前に問題を特定することができます。Head360プログラムの内部データおよび販売資料によると、このテストに基づく手法は、同等の機能テストや報告を行わない再生プログラムと比較して、欠陥や認定関連の不具合を最大4倍低減できることが示されています。
Head2Head™ ベンチマーキング・プロセス
契約する前に、その違いをご確認ください
Head360 を始める最も簡単な方法は、当社の Head2Head 比較ベンチマークプログラムを利用することです。
Head2Headプロセスにより、お客様は、より大規模なリビルドプログラムに移行する前に、実際の生産環境下でHead360の性能を評価することができます。
品質コストの比較
再建費用は、その一部に過ぎない
| コスト要因 | 典型的な再構築プログラム | Head360™ プログラム |
|---|---|---|
| 再建費用 | ⚠焦点が低い | ✔競争力がある |
| 資格取得の失敗 | ✖リスクが高い | ✔100%の検査により削減 |
| 工具のダウンタイム | ✖高い | ✔下へ |
| 技術調査 | ⚠頻繁に | ✔値下げ |
| 利回りに与える影響 | ⚠変数 | ✔値下げ |
| テスト文書 | ⚠数量限定 | ✔包括的 |
| 故障解析データ | ⚠数量限定 | ✔付属品 |
| プロセスの可視性 | ⚠数量限定 | ✔高 |
年間影響の例
複数のCMP装置を運用するファブにおいて、認定試験の不合格率をわずかにでも低減できれば、以下の点を通じて大幅なコスト削減につながります：
工具の利用率の向上
エンジニアリング業務の負担軽減
ウェーハのスクラップの削減
設備の稼働率の向上
プロセス制御の向上
緊急再建の発生件数が減少
Head360では、再生されたすべてのシリンダーヘッドを出荷前に検査し、記録を残しているため、CMPメンテナンスにおける最大の隠れたコストである「再生作業に伴う工程逸脱」に対処できるよう設計されています。
対応するCMPヘッドプラットフォーム
アプライド・マテリアルズ社製 Mirra® ヘッドのオーバーホール
タイタン・ヘッドの再構築
タイタンIIヘッドのオーバーホール
プロファイラーヘッドのオーバーホール
コンターヘッドの再構築
カスタム再構築構成
アプライド・マテリアルズ社製 Reflexion® ヘッドのオーバーホール
タイタン・ヘッドの再構築
プロファイラーヘッドのオーバーホール
コンターヘッドの再構築
EVOヘッドのオーバーホール
ホライゾン・ヘッドの再構築
カスタム再構築構成
すべてのオーバーホールには、完全な分解、点検、摩耗部品の交換、再組み立て、調整、完全性試験、および正式な試験報告書の作成が含まれます。
CMPヘッドの品質コストを削減する準備はできていますか？
当社の「Head2Head」ベンチマークプロセスを利用して、現在実施中のリビルドプログラムとHead360を比較してください。