CMP装置に革新をもたらす

ニッチなアプリケーション用にカスタムデザインされたものが必要ですか?Entrepixがお作りします。

当社の設計製品は、お客様のツールの性能、信頼性、稼働時間を向上させます。

プロセス改善、陳腐化緩和、そしてほぼすべての種類のエンジニアリング作業において、もう一つのツールがあります:Entrepixです。当社のエンジニアリングチームには、機械、電気、ソフトウェアエンジニアリングのエキスパートがおり、お客様が必要とするあらゆるものをOEM基準で作成し、複製することができます。

私たちは、お客様やその機械と接するフィールドサービスチーム、お客様と話す営業、新しいツール機能を必要とする製品マネージャー、そしてCMP装置を毎日扱う社内のエキスパートやエンジニアから、日々新しい製品の機会を発見しています。また、新たなお客様から、問題解決のお手伝いができないかとご相談を受けることもあります。

当社のエンジニアは、概要を把握した後、何が可能かを考え、それを実現します。当社のアドバンスド・ファブリケーション・センターや3Dプリンターなどのラピッド・プロトタイピング能力を活用することで、当社のエンジニアはパーツを設計したその日にプロトタイプを手にすることができます。

だからこそ私たちは、エンジニアを単なる社内チームとしてではなく、お客様のためのコンシェルジュ・サービスと考えているのです。

お客様のソリューションを実現します

Entrepixは、Titan、Profiler、その他のCMPヘッドをスペアパーツおよび標準交換品として製造しています。

カスタマイズ研磨ヘッド

Entrepixは、Titan、Profiler、その他のCMPヘッドをスペアパーツや標準交換品として製造するだけでなく、お客様のプロセスで要求される正確な結果を達成するために、内部部品のカスタマイズも行っています。

Entrepixは、お客様が必要とする電気、機械、ソフトウェア、または複合ソリューションのほとんどを開発することができます。

電気機械開発

当社のチームは、上記のような密閉されたPCBから、お客様のアプリケーションに合わせて作成・カスタマイズされたツール全体まで、お客様が必要とする電気的、機械的、ソフトウェア的、または複合的なソリューションのほとんどを開発することができます。

Entrepixは、研磨および洗浄用のウェーハキャリアをカスタム開発することができます。多くのサイズ、基板、処理に対応するソリューションを迅速に製造することができます。

ウェハーキャリア

Entrepixは、お客様の研磨および洗浄のニーズに合わせてウェーハキャリアをカスタム開発することができます。 当社のチームは、高品質・高純度の材料を使用して、多くのサイズ、基板、プロセスに対応するソリューションを考案し、迅速に製造することができます。

 
EntrepixはIPEC 472ロードステーションを含む様々なシステムのレガシー機器の機能拡張を専門としています。

IPEC 472 アドバンスド・ヘッド・ロード・ステーション

当社のエンジニアは、このアップグレードされたIPEC 472ロードステーションの開発のように、信頼性とプロセス改善を最大化する最小侵襲技術を使用して、レガシー機器の機能を拡張することを専門としています。

Entrepixは、Mirra CMPツール用のカスタムスラリー流量モニターを、穴あけ、切断、スプライシング、その他の侵襲的な手順なしで提供することができます。

スラリー流量モニター

お客様のご要望を実現します! あるお客様から、Mirra CMPツールのスラリー流量をモニターするシンプルなソリューションの要望がありました。当社のエンジニアリングチームが提案したソリューションは、ドリル、切断、スプライシングなど、信頼性と稼働率を損なう可能性のある侵襲的な手順を必要としません。

Entrepixは、Mirra CMPツール用の透明なパッドコンディショナーカバーを提供し、アセンブリの内部構造を監視します。修理の際に簡単に取り外すことができます。

クリアパッド・コンディショナー・カバー

EntrepixがMirra CMPツールのために設計した透明なパッドコンディショナーカバーは、アセンブリの内部構造を簡単に監視することができます。

カスタムパーツをお作りします

必要なものがあるのに見つからない?私たちがお作りします。必要なものをお知らせください。