新旧CMPポリッシャー用最新パーツソリューション

CMP交換部品やその他のCMP機器が必要な場合は、当社にお任せください。Entrepixなら、既存のハードウェアを維持・改善することができます。

私たちが作る部品はすべて最高品質で、OEMの基準を満たすか、超えるように設計されています。

私たちは、オリジナルのウェハーキャリアや洗浄モジュールのような全く新しい製品を開発することができますが、お客様の既存の装置ニーズに対するシンプルなパーツソリューションも創造します。ニッチな交換部品アプリケーションへの対応、古いアセンブリのリバースエンジニアリング、古い技術の新しい用途への適合などは、当社の得意とするところです。

化学機械研磨または洗浄プロセスの微調整が必要ですか?新規アプリケーション、現行アプリケーション、またはレガシーアプリケーションの部品サポートが必要ですか? 陳腐化の問題を解決したいですか?当社のエンジニアリングチームは、お客様(またはOEM)の仕様に合わせて部品を設計し、キットの中身を変更し、必要な結果を得るためのサポートを提供することができます。

さらに、当社の3Dプリンターと社内の機械加工・製造能力により、ラピッドプロトタイピングが可能になり、市場投入までの時間を短縮し、効率を高めることができます。

CMPスペアパーツ

EntrepixはOnTrak、AMAT Mirra、IPEC、SpeedFamのような洗浄およびCMPプラットフォーム、またRudolphの測定装置やその他のテクノロジー用のスペアパーツを大量に在庫しています。また、レガシーシステムを維持するための旧式部品も在庫しています。

新機能とCMP装置のアップグレードのための設計部品

お探しの交換部品が見つかりませんか?Entrepixはそれを作ることができます。

世の中にない新しい機能を持った部品を想像していませんか?Entrepixなら作れます。

当社のエンジニアチームは、お客様のCMPプラットフォームに新たな息吹を吹き込むカスタムソリューションを創造します。 お客様のCMPプラットフォームに新風を吹き込みます。

CMP装置の陳腐化に対する実証済みのソリューション

私たちは、お客様や私たち自身のために、機器や部品の陳腐化に対する実証済みのソリューションを開発します。単に複製するのではなく、革新します。どうすれば改善できるかを考え、工夫と最適化に挑戦します。

EntrepixはOEMがサポートしない機器をサポートし続け、IPEC 472のようなOEMが存在しなくなった機器もサポートしています。

旧式のOEM GESPACからWindowsベースのPCへの置き換え

EntrepixはレガシーOnTrakの旧式のOEM GESPACコンピュータシステムを交換し、システム全体をWindows 7 Embedded産業用PCに置き換えました。

アップグレードには以下が含まれる:

  • ソリッド・ステート・ハードドライブ

  • HSMSによるフルSECS/GEM

  • ウェハ、ロットID、モジュール、ユーザーIDによる完全なデータキャプチャとロギング

  • ウェーハカウントまたは経過時間によるユーザー定義のアラーム設定ポイント

  • ウェハー回収とティーチスクリーンの改善

  • ユーザーによるセキュリティ機能の強化

  • 高度なモーションコントローラ、分散I/O、ファクトリーオートメーションによるセンサ監視をサポート

これにより、OnTrakを施設にネットワーク接続し、将来にわたってシステムを稼動させ、アップグレードし続けることができるようになりました。

EntrepixはレガシーOnTrakの旧式のOEM GESPACコンピュータを交換し、システム全体をWindows 7 Embedded産業用PCに置き換えました。

時代遅れの制御システム

EntrepixはレガシーOnTrakの旧式のOEM GESPACコンピュータを交換し、システム全体をWindows 7 Embedded産業用PCに置き換えました。

アップグレードされた制御システム

CMPクリーナーの陳腐化問題の管理

製造中止の部品が必要ですか?私たちがお作りします。必要なものをお知らせください。