新しいエントレピックスDSS-200
スループット向上のために最適化され、将来に備える最新のOnTrak
新世代のOnTrakシステムをOEMから直接お届けします。
最新のEntrepix DSS-200両面ポストCMPウェーハクリーナーは、レガシーOnTrakシステムと同様の使い慣れた機能に加え、今日の洗浄プロセス要求に対応する数々のアップグレードを提供します。
OnTrakシステムのOEMとして、Entrepixは信頼性と長寿命、そして信頼できるサポートとスペアを提供するためにNEW DSS-200 OnTrakを設計しました。
当社のDSS-200クリーナーは提供します：
従来のOnTrakシステムとの部品交換性
旧式部品の交換と近代化
100-200mm基板用の構成
特注設計キャリアによるウェーハの小型化への対応
DSS-200には3つのコンフィギュレーションがあります：CE、Synergy、Integraです。
DSS-200の用途は以下の通り：
ポストCMPクリーン
プレボンドクリーン
撮影前のクリーニング
高度なパッケージング・アプリケーション
ポストメタル蒸着
ILD沈着後
ポストスクライブ
基板製造
OnTrakのアップグレード
レガシーOnTrakシステムのアップグレードは、OEMサポート付きで、すぐにご利用いただけます。アップグレードオプションは以下の通りです：
制御システムとソフトウェアのアップグレード
ハステロイ製スピンキャリッジ
高効率ヒートランプ
メガソニック洗浄
DI 節水
スルー・ザ・ブラシ・デリバリー
インラインミックス希釈
OnTrakパーツサポート
Entrepixは新世代のDSS-200クリーナーだけでなく、Lam OnTrak DSSシリーズ1、シリーズ2 ClassicおよびCE、Synergy、Integraプラットフォームにも高品質のOEM部品を提供しています。
OnTrakの部品はすべて、オリジナルの基準を満たし、それを上回るように選択または設計されています。お客様に必要なものを確実にお届けするため、徹底した入出庫検査を行っています。
PMキット カスタムソリューション
新品のDSS-200を標準構成でお持ちの場合でも、数十年の実績のあるOnTrakシステムを多数のカスタマイズでお持ちの場合でも、弊社ではお客様に最適なPMキットをご用意しています。 私たちの専門家とエンジニアのグループは、お客様のニーズに合った最適なソリューションをアドバイスし、お客様の特定のアプリケーションのためにPMキットを組み立てることができます。
| エントレピックス・シリーズ2 CE | アントレピックス・シナジー | エントレピックス・インテグラ | |
|---|---|---|---|
| 洗浄方法 | ブラシ・スクラブ | ブラシ・スクラブ | ブラシ・スクラブ |
| 統合 | いいえ | いいえ | はい |
| ブラシタイプ | ローラーPVA | ローラーPVA | ローラーPVA |
| ダウンフォースコントロール | はい | はい | はい |
| エッジ・スクラブ | オプション | オプション | オプション |
| メグパイ™メガソニックトランスデューサ | オプション | オプション | オプション |
| メガソニックノズル | オプション | オプション | オプション |
| 高圧純水スプレー | オプション | オプション | オプション |
| 加熱純水供給 | オプション | オプション | オプション |
| 乾燥方法 | スピン＋ヒートランプ | スピン＋ヒートランプ | スピン＋ヒートランプ |
| NH4OH | はい | はい | はい |
| dHF | いいえ | はい | はい |
| SC-1 | 希釈済み：はい | はい | はい |
| SC-2 | クエン酸ベース：はい | クエン酸またはHCLベース：はい | クエン酸またはHCLベース：はい |
| バックサイドケミカル | はい | はい | はい |
| メタルCMP洗浄 | はい | はい | はい |
| STI CMPクリーン | はい | はい | はい |
| 二重収容プロセス・エリア | いいえ | はい | はい |