新しいエントレピックス

新世代のOnTrakシステムをOEMから直接お届けします。

最新のEntrepix DSS-200両面ポストCMPウェーハクリーナーは、レガシーOnTrakシステムと同様の使い慣れた機能に加え、今日の洗浄プロセス要求に対応する数々のアップグレードを提供します。

OnTrakシステムのOEMとして、Entrepixは信頼性と長寿命、そして信頼できるサポートとスペアを提供するためにNEW DSS-200 OnTrakを設計しました。

当社のDSS-200クリーナーは提供します：

  • 最新のWindows™ベースの制御システム

  • 超薄型・脆弱な基板向けの高度な精密タッチ技術によるウェーハハンドリング

  • 従来のOnTrakシステムとの部品交換性

  • 100-200mm基板用の構成

  • 特注設計キャリアによるウェーハの小型化への対応

Entrepix DSS-200の詳細はこちら

DSS-200の用途は以下の通り：

  • ポストCMPクリーン

  • プレボンドクリーン

  • 撮影前のクリーニング

  • 高度なパッケージング・アプリケーション

  • ポストメタル蒸着

  • ILD沈着後

  • ポストスクライブ

  • 基板製造

DSS-200用の新しいEntrepix enTrak制御システムは、装置の信頼性を最大限に高め、旧式化による稼働停止を防ぎ、セットアップとユーザーアクセスを効率化します。

  • 最新のWindows™ベースのシステム

  • 堅牢なウェーハ回収機能

  • イベントログによるトレーサビリティの強化

  • ロールベースのアクセス制御（RBAC）による高度なセキュリティ

  • アラームメッセージの設定

  • セットアップ時間を短縮するためのロボットティーチング画面の実装

  • 簡単なアップグレード手順

OnTrakのアップグレード

レガシーOnTrakシステムのアップグレードは、OEMサポート付きで、すぐにご利用いただけます。アップグレードオプションは以下の通りです：

  • 制御システムとソフトウェアのアップグレード

  • ハステロイ製スピンキャリッジ

  • 高効率ヒートランプ

  • メガソニック洗浄

  • DI 節水

  • スルー・ザ・ブラシ・デリバリー

  • インラインミックス希釈

  • カスタムサイズを含むウェーハサイズ変更キット

OnTrakアップグレード

OnTrakパーツサポート

Entrepixは新世代のDSS-200クリーナーだけでなく、Lam OnTrak DSSシリーズ1、シリーズ2 ClassicおよびCE、Synergy、Integraプラットフォームにも高品質のOEM部品を提供しています。

OnTrakの部品はすべて、オリジナルの基準を満たし、それを上回るように選択または設計されています。お客様に必要なものを確実にお届けするため、徹底した入出庫検査を行っています。

Entrepixは、新しいOnTrak DSS-200クリーナー、Lam OnTrak DSSシリーズ1、シリーズ2 ClassicおよびCE、Synergy、Integraプラットフォーム用の高品質コンポーネントを提供しています。

PMキット カスタムソリューション

新品のDSS-200を標準構成でお持ちの場合でも、数十年の実績のあるOnTrakシステムを多数のカスタマイズでお持ちの場合でも、弊社ではお客様に最適なPMキットをご用意しています。 私たちの専門家とエンジニアのグループは、お客様のニーズに合った最適なソリューションをアドバイスし、お客様の特定のアプリケーションのためにPMキットを組み立てることができます。

PMキットを請求する
 エントレピックス・シリーズ2 CEアントレピックス・シナジーエントレピックス・インテグラ
洗浄方法ブラシ・スクラブブラシ・スクラブブラシ・スクラブ
統合いいえいいえはい
ブラシタイプローラーPVAローラーPVAローラーPVA
ダウンフォースコントロールはいはいはい
エッジ・スクラブオプションオプションオプション
メグパイ™メガソニックトランスデューサオプションオプションオプション
メガソニックノズルオプションオプションオプション
高圧純水スプレーオプションオプションオプション
加熱純水供給オプションオプションオプション
乾燥方法スピン＋ヒートランプスピン＋ヒートランプスピン＋ヒートランプ
NH4OHはいはいはい
dHFいいえはいはい
SC-1希釈済み：はいはいはい
SC-2クエン酸ベース：はいクエン酸またはHCLベース：はいクエン酸またはHCLベース：はい
バックサイドケミカルはいはいはい
メタルCMP洗浄はいはいはい
STI CMPクリーンはいはいはい
二重収容プロセス・エリアいいえはいはい

ウェーハ洗浄でお困りではありませんか？

化学の力が役立ちます！Amtechのパートナー企業であるIntersurface Dynamicsによる、お客様のご要望に合わせた洗浄剤について、ぜひお問い合わせください。