機器のアップグレード

EntrepixのOEMレベルのアップグレードは、より高い効率性、精度、信頼性を提供します。

EntrepixはOnTrakの様々な機能をアップグレードすることができます：ハードウェアとソフトウェアの交換、制御システムの更新、データシステムとログファイル、モジュールベースのウェハー回収、ブラシとキャリッジモーター、ハステロイキャリッジ、ヒートランプの安全性とスループット。

OnTrakのアップグレード

EntrepixはOnTrakの様々な機能をアップグレードすることができます：

  • ハードウェアとソフトウェアの交換、制御システムの更新

  • データ・システムとログ・ファイル

  • モジュールベースのウェハー回収

  • ブラシとキャリッジモーター

  • ハステロイキャリッジ

  • ヒートランプの安全性と処理能力

  • 純水と流量モニター

  • インライン混合希釈装置

  • USBおよびソリッド・ステート・ハードドライブ

  • 5本指ウェハー・グリッパー

  • 電源の改造

  • プリント基板

  • 時代遅れの部品の交換

アプライド マテリアルズのMirraがアップグレード

Entrepixは、アップグレード、交換部品、カスタムソリューション、予防保守サービスを提供し、Mirraプラットフォームの性能を今後10～15年間維持・向上させます。

利用可能なアップグレードは以下の通り：

  • ヘッド回転モータードライバ

  • ヘッドスイープモータードライバー

  • ウェット・ロボット・ドライバー

  • モーター・アセンブリのアップグレードと交換

  • アッパー・ニューマチック・アッセンブリー（UPA）

  • UPA移転

  • 空気圧ロータリーユニオンとスリップリングアッセンブリーの交換品

  • ハイフレックスケーブルマネジメント

  • ウェーハスリップ（ロス）センサー

  • DDF3パッド・コンディショナーの組み立てとアップグレード

  • ミラヘッド交換ソリューション

  • クリアカバー

  • プリント基板

  • 完全交換アセンブリ

  • ポリッシュ・ヘッド・テスター

  • 校正および試験装置

  • スラリーおよび薬液の流量制御

  • デュアルディスプレイ交換

  • DC電源ドロワーとソリッド・ステート・ドライブ

  • ウェハ破損の減少

  • HCLUおよびポリッシュヘッド消耗品

 

アプライド マテリアルズのReflexion®アップグレード

エントレピックスは300mm装置市場に参入し、HVMが使用するReflexion®プラットフォームを将来にわたって維持・改善するためのアップグレード、交換部品、カスタムソリューション、メンテナンスサービスを提供する。

利用可能なアップグレードは以下の通り：

  • モーター・アセンブリのアップグレードと交換

  • アッパー・ニューマチック・アッセンブリー（UPA）

  • UPA移転（レガシー3および4ゾーン）

  • 空気圧ロータリーユニオンとスリップリングアッセンブリーの交換品

  • DDF3パッド・コンディショナーの組み立てとアップグレード

  • Reflexionヘッド交換ソリューション（Titan、Profiler、Contour、Evo、Horizon）

  • クリアカバー

  • PM低減のためのテフロンコーティング

  • 完全交換アセンブリ

  • エンテグリティ・ポリッシュ・ヘッド・テスター

  • 校正および試験装置

  • スラリーおよび薬液の流量制御

  • クリーナー、ロード・カップ、ポリッシュ・ヘッドの消耗品