お客様のニーズに合わせたカスタム機器
ニッチなカスタマイズを必要とするアプリケーションから、弊社が提供する装置、お客様のシステム用に設計済みのCMPまたは洗浄モジュールの開発まで、Entrepixがお手伝いいたします。
カスタマイズされたOnTrak DSS-200ツール
このカスタマイズされたDSS-200 OnTrakは、あるお客様のユニークな状況に対応するために設計されました。オーダーメイドの特徴は以下の通りです：
感光性ウェハーへのダメージを防ぐため、ブラシボックスの蓋、スピンカバー、出力カバーをブラックアウト。
カセット・キューイング・ステーションとしても使用できるよう、ブラシの蓋を特別に設計。
ポストクリーニングステーションに層流気流を作り出すHEPAファンフィルターユニット
ユニークなクリーンルームのレイアウトに対応するため、ツールの左端を通る流体の入力と排出をカスタム設定。
200mmクリーニング技術を300mmに応用
私たちは、200mm以下のクリーニング技術を300mmに対応させ、モジュール化することで、より広い市場に私たちの最先端技術を提供します。 当社の技術は、今すぐお客様の装置に組み込むことが可能です。
ニーズに合わせたモジュール式クリーニング
実績のあるOnTrak DSS-200の洗浄技術をウェーハプロセスシステムに組み込むことができます！ 10億枚以上のウェーハをOnTrakツールに通してきた実績から、お客様のニーズに合った信頼性の高いターンキークリーニングモジュールソリューションを提供します。
カスタムメイド製品
アプリケーション独自のオプションが必要ですか？まだ存在しないものが必要ですか？私たちがお作りします。お客様のご要望をお聞かせください。