AMATリフレクション
Entrepixは、アプライド マテリアルズのReflexion® 3600、Reflexion LK 3800、Reflexion LK Prime®、Reflexion LK Prime® S一体型CMP装置の部品、アップグレード、サービス、再生サービス、再生工具を提供しています。
リフレクション®の情報源
ポリッシャー交換部品
Entrepixは、AMAT Reflexion® CMPシステムの交換部品の供給元です。UPAシステム用のシンプルな圧力変換器、旧式のモータードライバー、または完全な組み立て式で厳密なテストが行われた新品のポリッシュヘッドやパッドコンディショナーなど、お探しのものが何であれ、Entrepixにお任せください。
ポーランドのヘッド再建
当社の経験豊富な装置エンジニアは、3ゾーンTitan、4ゾーンProfiler、6ゾーンContour、8ゾーンEvo、12ゾーンHorizonなど、あらゆるタイプ、サイズ、構成のCMPヘッドのリビルドのエキスパートです。 私たちは、いつでも初回から最適に機能するヘッドをお届けするためのツールと知識を持っています。
リフレクシオン・サービス
全く新しいプラットフォームを調達することなく、300mm CMPの機能を拡張する必要がありますか？Entrepixでは、既存のReflexion®ツールの改修、または追加ツールの調達と改修が可能です：
リフレクション® 3600
リフレクション® LK 3800
リフレクション® LKプライム
リフレクション® LK プライム® S
AMATリフレクションのアップグレード
エントレピックスは、テフロンコーティングサービス、メンテナンスとモニタリングを容易にする透明アセンブリカバー、ニッチなニーズに対応するプロセス固有のソリューションなど 、アプライド マテリアルズのReflexion®プラットフォームのアップグレードを数多く提供しています。
AMAT Reflexion®のアップグレード一覧は、下記をクリックしてご覧ください。