最高のパフォーマンス、OEM規格

Entrepixの再生装置は、お客様のご予算に合ったコストで、新品同様の性能を提供します。

Entrepixは単に機器を再生するだけでなく、オリジナルのOEM仕様に合うように再製造します。これらのツールに関する豊富な知識により、お客様の機器が新品同様に動作することを保証いたします。

装置をフレームから完全に取り外し、独自のクリーニング・プロセスにかけます。その後、お客様のご希望の構成に機器を組み立て、厳格なテストと品質チェックを行い、機器が元の状態と同じか、それ以上の性能を発揮することを確認します。

弊社では、OEM仕様に適合することが保証された、幅広い再生CMPおよび計測機器を販売しています。

Entrepixでは、再生品がご予算を超える場合、再生品も提供しております。

改装プロセス

私たちは、元の所有者から機器を調達し、私たちの施設に輸送し、そこでシステムを評価し、機械的および電気的機能をテストします。その後、故障したコンポーネントを交換または修理します。

次に、ツールを新しいオーナーの仕様に合わせて再構成し、すべての処理面を徹底的にクリーニングし、ツールのコンポーネントを調整し、ソフトウェアのテストとアップグレードを行います。その後、トレーサブルな標準に校正し、最終的なシステム評価と品質保証チェックを行い、ウェハーハンドリングシステムをマラソンテストします。

当社の再生品および整備済システムには、部品および作業保証が付いています。また、長期的なアプリケーション・サポートや部品・サービス契約もご用意しています。

改装

  • CMP装置

    • CMP研磨機

    • スラリーおよびケミカル・デリバリー・システム

  • ポストCMP洗浄装置

    • オントラック・シリーズ2 CE

    • オントラック・シナジー

    • オントラック・シナジー・インテグラ 

  • 計測機器

    • 膜厚(誘電性および導電性)

    • プロフィロメーター

    • 粒子検出

    • インライン誘電体測定(ノヴァ)