一般清掃と点検

すべてのレールとドライブの清掃と注油

ベースライン設備

負荷校正

プラテン切れ

ヘッド/アームスイープ校正

キャリアとプラテンの磨耗

ダウンフォース・キャリブレーション

背圧校正

パッドコンディショナー動作チェック

アンロード校正

ツール固有の問題に対処

機材セット特有の追加項目

ハンドリングのチェックと調整

スピンステーション機能チェック

ブラシ・ローラー・ベルトの交換

ブラシの平行度を調整する

すべての空気圧シリンダーをチェックする

入力ステーションのローラーとベルト

入力ステーションの O リングの交換

出力ステーション駆動ベルト

ブラシ・ステーション・ドライブのキャリブレーション

ブラシステーションのOリング

出力ステーションの調整

リフター・チップの点検

ベースライン評価

データファイルのバックアップ

エラーログの確認と対処

真空レベルの確認

ハンドリングテスト

ステージの清掃と潤滑

ステージのセンターオフセット、直交性、偏心をチェックする

フラット/ノッチフィンドラーランプをチェック

試験強度モニター

HeNeレーザーとIRレーザーの強度をテスト

顕微鏡ランプの均一性をチェックする

すべての波長を校正する