アマット・ミラ
Entrepixはアプライド マテリアルズのMirra、MirraTrak、Mirra Mesa CMPシステムの部品、サービス、アップグレード、ツール全体の改修を提供しています。
Mirraのパーツに関するあらゆるニーズにお応えします。
Entrepixは、AMAT Mirra CMPシステムの交換部品を、たとえ旧式の部品であってもお求めいただけます。UPAシステム用のシンプルなクロスモーターや圧力トランスデューサーをお探しの場合も、完全に組み立てられテスト済みのポリッシュヘッド、HCLU、パッドコンディショナーをお探しの場合も、弊社にお任せください。
ポーランドのヘッド再建
当社の経験豊富な設備エンジニアは、あらゆるタイプ、サイズ、構成のCMPヘッドのリビルドのエキスパートです。 私たちは、毎回、最初から最適に機能するヘッドをお届けするためのツールと知識を持っています。
AMAT Mirraのアップグレード
Entrepixはアプライド マテリアルズのMirraプラットフォームのアップグレードを幅広く提供しています。これには、新しく改良されたヘッド回転モーターとドライバー（右写真）、 パッドコンディショニングとウェーハハンドリングの改良、コーティングサービス、ウェーハスリップとスラリーフローのセンシングソリューション、200mmと300mmのすべてのアプリケーションに対応する最新世代のEntegrityヘッドテストプラットフォームなどが含まれます。
AMAT Mirraのアップグレードリストは以下をクリックしてご覧ください。
Mirrasの再生品
全く新しいプラットフォームを調達せずにMirraの機能を拡張する必要がありますか？Entrepixは、以下のような既存のMirraツールを改修します：
ミラ3400スタンドアロン
ミラトラック
ミラ・メサ
また、標準モデルやReflexion LK、LK Prime、LK Prime Sモデルを含む、300mm Reflexionツールの再生も得意としています。
設計と製造のコンシェルジュ・サービスがシステム性能を向上
Entrepixのエンジニアリングチームがお客様のために作ります。当社は、AMAT Mirraプラットフォームを含むCMP装置のアップグレードやカスタムエンジニアリングソリューションを数多く開発してきました。
魔法のようだと思われるかもしれませんが、その正体は、CMPを知り尽くし、愛する経験豊かでクリエイティブなエンジニア・チームなのです。