エントレピックス・エンテグリティ・ポリッシュ・ヘッド・テスター
よりスマートなCMPの方法
Entrepixの次世代ヘッドテスターは、ダウンタイムの削減と大幅なコスト削減を実現するために、データをお客様のお手元にお届けします。
Entrepixは、長年のテストとトラブルシューティングを経て、この革新的でお客様に愛されるヘッドテスターを設計しました。 ヘッドテストステップは、従来の単純な検証ツールから、強力なトラブルシューティングプラットフォームへと変貌を遂げました。Entrepixの新しいヘッドテスタは、シリアル番号で各ヘッドを追跡しながら、ユーザーがデリケートなCMPプロセスをダイヤルインできる強力なトラブルシューティング機能を提供します。このテスターは、ウェーハのデチャックをシミュレートし、ウェーハの有無センサー機能を自動的にチェックします。
タイタンI、タイタンII（プロファイラー）、コンツアーポリッシュヘッド用の6ゾーンがあります。
Titan I、Titan II（Profiler）、Contour、EVOポリッシュヘッド用の8ゾーンがあります。
エントレピックスのヘッドテスターは、ヘッドチャンバー間の "クロストーク "をリアルタイムでモニターすることができ、ユーザーはテストを中断してチャンバーのトラブルシューティングを迅速に行うことができる。
使いやすく、操作が簡単
操作は、琢磨ヘッドをセットしてテストレシピを開始するだけと簡単です。新しいEntrepixヘッドテスターの特徴は以下の通りです：
ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェース
ヘッドタイプの選択
デチャックシーケンスにおけるウェハ不在/ウェハ存在センサーの選択
データ追跡のためのヘッド・シリアライゼーション
データロギングとグラフインターフェース
データダウンロード用のネットワーク互換またはユーザーレベル依存のUSBインターフェース
カスタマイズ可能な設定とレシピ保存で、独自のヘッド構成に対応
安定した結果と稼働時間の向上
EntrepixのEntegrityポリッシュヘッド試験機にご興味がおありですか？お客様のニーズをお聞かせください。
