プラテン改修

Entrepixは、あらゆる形状やサイズのCMPプラテンに対して、フルターンキーでの再仕上げと改修サービスを提供しています。

AMAT Mirra と Reflexion®

AMAT CMPツールセットのプラテン再生サービスを10年以上行っているEntrepixは、お客様の時間を節約し、ツールを稼動させ続け、プラテンとプロセスを最高の状態に保つためのストレスから解放される明確な選択肢です。 完全なシリアルトレーサビリティを備えたクイックターン再調整のためにプラテンを送りたい場合でも、ツールのダウンタイムを最小限に抑えるために当社の交換プログラムを利用したい場合でも、お客様の期待を上回るEntrepixのソリューションがあります。

プラテンの再生

IPEC、ストラスボーなど

Entrepixは、業界のほとんどのCMP装置のプラテンを再研磨してきた長い歴史があります。そのため、お客様のニーズがレガシーIPEC 372または472プラテンの修理ループであろうと、ニッチな装置に特化したものであろうと、確実にサポートいたします。

プラテン改修をグリーンイニシアチブに

Entrepixのプラテン再生サービスは費用対効果が高いだけでなく、お客様の持続可能性プログラムの一部にもなります。 既存のパーツを再調整することで、コストが大幅にかかる新しい代替品を購入する必要性をほぼなくし、現在のプラテンを埋立地に廃棄することもなくなります。

PFASについてご心配ですか？ Entrepixは適用されるすべてのPFAS規制を遵守し、米国内で改修サービスを行っています。