ストラスボーCMPウェーハポリッシャー
Entrepixは3種類のStrasbaugh CMP装置に対応しています。
ストラスボー 6DS-SP nTegrity
スペックと能力
全自動精密研磨
柔軟な操作と処理で再現性を必要とする用途に最適
自動ウェハーハンドリング
1台のプラテンで2枚のウェーハをポリッシュすることができ、スループットと生産量を最大化します。
ウェーハを研磨し、ブランケットまたはパターン化されたデバイスウェーハの平坦性、均一性、平坦化を達成するために材料を除去します。
加工の柔軟性
再現性のある結果
ウェーハサイズ100mm～200mm
ストラスボー 6EC nSpire
スペックと能力
研究、故障解析、少量生産向けの経済的なCMPツール
カラータッチスクリーンでプログラム可能な半自動運転
反復可能で正確なプロセス制御
標準スラリーポンプ1台、オプションで2台目
小型寸法：48インチ x 37インチ x 72インチ
パッドコンディショニング
ウェーハサイズ：4インチ、6インチ、8インチ
ストラスボー 6EG
スペックと能力
研究、故障解析、少量生産向けの経済的なCMPツール
カラータッチスクリーンでプログラム可能な半自動運転
反復可能で正確なプロセス制御
1台のプラテンで2枚のウェーハをポリッシュすることができ、スループットと生産量を最大化することができます。
ウェーハを研磨し、ブランケットまたはパターン化されたデバイスウェーハの平坦性、均一性、平坦化を達成するために材料を除去します。
加工の柔軟性
再現性のある結果
ウェーハサイズ300mm
再製造されたストラスボーCMP装置の情報を入手する
再製造されたストラスボーCMP装置に関する詳細情報をご希望ですか？お問い合わせください。