スピードファム IPEC CMPポリッシャーの再生品
エントレピックスは4種類のSpeedFam IPEC CMPポリッシャーの再生が可能です。
スピードファムIPECアバンティ472
スペックと能力
全自動精密CMPツール
100mmから200mmまでのウェーハ平坦化
柔軟な操作性と加工性を備えた、繰り返し可能な材料琢磨アプリケーションに適しています。
自動ウェハーハンドリング
2つのプラテン、2段階のポリッシング処理能力により、ウェーハのスループット能力と品質を最大化
研磨スラリーを使用して半導体材料を除去し、ウェーハの平坦化と均一化を行う。
完全自動の精密琢磨、柔軟な加工、再現性のある結果を提供します。
ウェーハサイズ：2インチ、3インチ、100mm、125mm、150mm、200mm
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