株式会社アントレピックス新しいEntegrityヘッドテスターを発表

アリゾナ州フェニックス、2023年10月12日 - CMPおよびウェーハ洗浄のエキスパートとして世界的に知られ、Amtech Systems, Inc.の子会社であるEntrepix, Inc.は、最新製品であるEntegrityヘッドテスタを発表します。CMPシステムのダウンタイムを短縮するために設計されたEntegrityヘッドテスタは、歩留まりを管理し、最適な性能を確保する能力を顧客に提供します。

EntrepixEntegrityヘッドテスターは、お客様に価値とコスト削減を提供するという同社のコミットメントの一例です。エンテグリティ・ヘッドテスターは、タイタン、プロファイラー、コンツアー、EVOの琢磨ヘッドを構成するミッションクリティカルな消耗品に関する貴重なデータをお客様に提供する卓上型琢磨ヘッド試験システムです。

「EntrepixはCMPプロセスを他社とは比較にならないほど熟知しています。「当社のEntegrityヘッドテスターが生成するカスタムデータセットは、最も重要な情報を顧客に提供します。当社の製品が提供する保証のおかげで、顧客はヘッド関連の不具合を心配することなく、自信を持ってCMPシステムを稼働させることができます。

エンテグリティ・ヘッドテスターの特徴は、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーン・インターフェース、カスタマイズ可能な設定とレシピ・プログラミング、個々のゾーンの漏れやクロストークをテストする機能などである。ヘッドテスターの制御システムには、データ追跡用のヘッドシリアライゼーション、グラフ化機能付きデータログ、データダウンロード用のネットワーク機能またはUSBインターフェースが含まれる。

Entegrityヘッドテスターは、カスタマイズ可能なテストパラメーターを提供することで競合ソリューションと一線を画し、ユーザーに特定のテスト要件に対応するための不可欠な機能を提供します。この重要な問題解決機能により、お客様は試験工程をパーソナライズすることができ、琢磨ヘッドを設置する前にその最適な機能を保証することができます。  

Entrepixとその製品についての詳細は、www.entrepix.com。

エントレピックスについて

アムテックグループの一員であるEntrepix Inc.は、先進的なウェーハ洗浄装置とケミカル・メカニカル・ポリッシュ（CMP）技術およびサービスにおける世界的リーダーとして認められています。技術革新と技術的専門知識に重点を置くEntrepixは、半導体業界全体にわたってCMPとウェーハ洗浄のための最先端機能を提供しています。同社の包括的なCMPソリューションは、炭化ケイ素(SiC)ウェハーや幅広いIII-V族材料を含む幅広い材料と基板サイズに対して、最高レベルの平坦化と表面品質を可能にします。エントレピックスは、最先端の装置と独自のプロセスを活用し、今日の半導体製造プロセスの厳しい要件を満たすカスタマイズされたCMPソリューションを提供しています。さらに、炭化ケイ素ウェハークリーニングの専門知識は、SiCベースのアプリケーションのための卓越した清浄度と表面処理を保証します。Entrepixは、顧客主導の開発を採用し、満たされていない市場ニーズを掘り起こすことで、半導体業界におけるCMPとウェハー洗浄のニーズのための信頼できるパートナーとなっています。

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会社連絡先

Jim Mello
ゼネラル・マネージャー
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