EntrepixのイノベーションがReflexion® LK Prime®の信頼性を強化
アリゾナ州フェニックス、2024年12月17日 - CMPおよびウェーハ洗浄のエキスパートとして世界的に知られ、Amtech Systems, Inc.の子会社であるEntrepix, Inc.は、最新製品であるLK Primeパッドコンディショナジンバルフレキシャを発表します。アプライド マテリアルズのReflexion LK Prime CMPシステムのダウンタイムを短縮するために設計されたこの強化コンディショナー・ジンバル・フレクシャーは、最適化された形状と優れた構造材料により破損を低減します。
「この強化されたフレクシャーは非常に価値があり、すぐに元が取れます。「この部品のOEMバージョンは、脆い材料と薄い形状により高い故障率で知られています。当社の再設計により、これらの問題が解消され、信頼性が大幅に向上しました。
このアップグレードされたLKプライムパッドコンディショナー・ジンバルフレキサーによってもたらされる利点は、コスト削減から始まり、ダウンタイムの削減、予期せぬ故障によるウェーハスクラップの削減など、多方面にわたる信頼性にまで及びます。 このような利点は、メンテナンス要員などの要素を含めると、さらに大きくなります。
このアップグレードは、Entrepixの300mm Reflexion CMPシステムの拡張と交換部品の幅広いポートフォリオの一部です：
費用対効果の高い交換部品
アップグレードされた交換部品とアセンブリ
8ゾーン・エボ、12ゾーン・ホライゾンを含む全タイプのヘッドのスペアパーツとリビルトのサポート
専門家による工具の再生と収穫能力
各種モーターとドライバー
さらにEntrepixは、期間契約オプションによるフィールドサポート、プラテンコーティングサービス、ポリッシュヘッド、パッドコンディショナ、ロボット、クロスハブ（3600および3800）、ロードカップ、上部空圧アセンブリ、さらにはツール全体のリビルドサービスなど、包括的なサービスとサポートソリューションを提供している。
革新的な製品と広範なサービスを組み合わせることで、Entrepixは、顧客がCMPシステム全体で最適な性能と信頼性を達成できるよう支援するというコミットメントを強化しています。
ReflexionおよびLK Primeはアプライド マテリアルズの登録商標です。 Entrepixとその製品の詳細については、www.entrepix.com。
ご購入またはサンプルのご請求は、Shopifyストアのリンクhttps://shop.entrepix.com/collections/reflexion。
エントレピックスについて
アムテックグループの一員であるEntrepix Inc.は、先進的なウェーハ洗浄装置とケミカルメカニカルポリッシング（CMP）技術およびサービスにおける世界的リーダーとして認められています。技術革新と技術的専門知識に重点を置くEntrepixは、CMPとウェハークリーニングのための最先端機能を提供しています。同社の包括的なCMPソリューションは、炭化ケイ素（SiC）ウェーハやその他のIII-V族材料を含む幅広い材料と基板サイズに対して、最高レベルの平坦化と表面品質を可能にします。エントレピックスは最先端の装置と独自のプロセスを駆使し、今日の半導体製造プロセスの厳しい要件を満たすカスタマイズされたCMPソリューションを提供しています。さらに、炭化ケイ素ウェハークリーニングの専門知識は、SiCベースのアプリケーションの卓越した清浄度と表面処理を保証します。Entrepixは、顧客主導の開発を採用し、満たされていない市場ニーズを掘り起こすことで、半導体業界におけるCMPとウェハー洗浄のニーズのための信頼できるパートナーとなっています。
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会社連絡先
Shashi Gupta
シニア・バイス・プレジデント兼ゼネラル・マネージャー
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